WAFER RING위에 올려진 제품을 화학약품을 이용하여 세척 및 건조하여 주는 설비임.
※ 주요 사양. •회전 속도 설정가능. (0~ 100rpm) •2가지 종류의 약품을 동시에 적용가능. •NOZZLE 방식을 이용하여 강하게 세척이 가능. •NOZZLE은 고정방식이 아닌 좌.우 이동세척방식으로 제품전체를 넓게 세척이 가능. •건조시에는 적외선 램프이용.
※ 주요 사양.