전극소성로에서 배출되어 나오는 MESH 와 칩을 자동으로 배출 및 정렬 선별하여 주는 설비임.
※ 주요 사양.
1)BUFFER CONVEYOR UNIT2)CLAMP UNIT
3)ROTATE UNIT. (서보 3축 : X/Y/R)
4)배출컨베이어 UNIT.
5)MESH 적재 ELEVATOR UNIT.
6)CHIP 배출 FEEDER UNIT.
7)CHIP 선별 FEEDER UNIT.
8) CHIP 회수 UNIT. (전후진/ 무게감지)
9) 배출 ELEVATOR